感应器。

    还有这个什么器，那个什么装置，以及卫明叫不出专业名称的东西。

    三天内他一共搞了十几个。

    然后让蒲伟才他们，把这些装置，塞入到控制系统中，以极高精度要求，组装到了一起。

    再开启了试运行。

    “释放锡滴，初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。

    “开始释放。”

    “两次击打成功，摊平形状完美，激发效果完美！”

    “增加释放频率。”

    “每秒50次试验成功。”

    “每秒500次试验成功！”

    “每秒5150次试验成功！追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。

    “继续增加！往上加高一点！”

    蒲伟才也开始激动了，这才第一次进行调试而已，居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录？

    “每秒5500次试验成功，创造新的纪录！”

    “再加！”

    每秒7000

    每秒9000

    每秒1万

    ……

    一直加到每秒2万，满足使用频率要求。

    所有人都被震惊到麻木，依然是取得成功！

    “再加，再往上加！”

    每秒3万

    每秒4万

    每秒4万5

    每秒5万！

    “锡滴释放频率达到上限，特么还是取得成功！”操作员毫无形象的狂喊。

    “转化光强是额定光强的2.5倍！”

    向广林眼睛通红的大吼：“这意味着这台光刻机处理晶元的效率，至少艾思迈euv的两倍以上，我们一台，能顶他们两台！”

    “你们别叫！”

    蒲伟才高高挥起了手，目光盯着持续时间后的数据，极力压制情绪的说道：“看看每秒5万滴锡滴，每秒10万次击打的情况下，这个系统能稳定工作多长时间？你们别吵，你们的噪音，可能影响到它的发挥。”

    所有人都安静了下来。

    屏住了呼吸。

    目光都死死盯上了持续时间。

    5分钟

    15分钟

    第29分38秒

    由于累积误差越来越大，没有纠偏系统进行纠正，整个系统终于自动停止了运行。

    啪！

    蒲伟才右拳用力轰击自己左掌，满脸涨红的说道：“3分钟就足够了，只要3分钟，就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了，没想到它坚持了足足半个小时！我们只需设计一套非常简单的纠偏系统，就能让它长期稳定的工作了，整个系统的复杂度至少降低10%，为我们省下大量的时间！”

    “太厉害了，太神奇了！”

    作为项目负责人，他自己也大呼小叫：“光源问题彻底解决了，双工台现成就有，镜头完全能用，我们的euv光刻机，完成度至少超过90%！”

    “我们完全看到胜利的希望了！”

    说着，他泪如坝崩，几欲捧面大哭一场。

    坚持十几年了！这一次，他是真的看到希望了，就在他的面前，已然触手可及。

    见他如此，跟他一个团队的其他成员，也都擦着眼角，发出呜呜的声音。

    “还没真成功呢，眼泪不如留到庆功宴。”

    一个略有些扫兴的声音传来。

    却听卫明说道：“蒲博士，刚才你还一脸抗拒的样子，怀疑我打磨过的东西不能用，现在呢？信我说的话了吧，零件问题，对我公司不是个问题，你说的技术难点，感觉也不怎么难。”

    “没错没错。”